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GMP车间净化工程气流流形的检测步骤

更新时间:2016-06-20      点击次数:2794
   GMP车间净化工程洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之净化车间洁净室(CleanRoom),亦称为无尘室或清净室。zui主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为无尘室。按照惯例,GMP车间净化工程无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。
  GMP车间净化工程气流流形的检测应按以下步骤进行:
  1垂直单向流洁净室选择纵、横剖面各一个,以及距地面高度0.8m、1.5m的水平面各一个;水平单向流洁净室选择纵剖面和工作区高度水平面各一个,以及距送、回风墙面0.5和房间中心处等3个横剖面,所有面上的测点间距均为0.2m~1m;
  2)乱流洁净室选择通过代表性送风口中心的纵、横剖面和工作区高度的水平面各一个,剖面上的测点间距为0.2m~0.5m,水平面上测点间距为0.5m~1m。两个风口之间的中线上应有测点。
  2测定方法:用发烟器或悬挂单丝线的方法逐点观察和记录气流流向,并可用量角器量出角度,发烟源可用超声波雾化(0.5um~50um水雾)的去离子(DI)水、喷射方法生成的乙醇或二醇、固态二氧化碳(干冰)等,在高强度光源下示踪。在确保对人和物无伤害时可以四氯化钛(TiCl4)作示踪粒子。
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